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探索乾蚀刻製程的密封解决方案 

延长系统正常运行时间，提高产物产量

乾蚀刻是半导体製造中的关键製程。防止污染、确保製程稳定性，并减少颗粒的相关问题，高性能密封件可提高产量、设备品质和製造效率。

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Gas Injector Seals
  • 承受所有製程的气体
  • 高纯度
  • 长期可靠性
适合材料：
Isolast® PureFab™ JPF10
Isolast® PureFab™ JPF20
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Showerhead Seals
  • 极高的耐电浆性
  • 极高的纯度
  • 微量金属含量低
适合材料：
Isolast® PureFab™ JPF10
Isolast® PureFab™ JPF20
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Chamber Lid Seals
  • 超低微粒产生
  • 极高的耐电浆性
  • 一流的除气性能
适合材料：
Isolast® PureFab™ JPF10
Isolast® PureFab™ JPF20
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Window/Viewport Seals
  • 超低除气性能
  • 可选择各种尺寸和形状
适合材料：
Isolast® PureFab™ JPF10
Isolast® PureFab™ JPF22
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E-Chuck Seals
  • 超低微粒产生
  • 极高的耐电浆性
  • 一流的纯度
适合材料：
Isolast® PureFab™ JPF10
Isolast® PureFab™ JPF30
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Subfab Processes 廠務端製程

製程包括：真空泵和减排应用，需要密封件提供：

  • 优异的耐高温性能
  • 出色的化学相容性
  • 密封寿命长

适合材料：
Isolast® PureFab™ JPF21
Isolast® PureFab™ JPF40
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Deposition Process 沉積製程

此过程需要密封件提供：

  • 优异的除气性能
  • 适合与腐蚀性前体化学品一起使用
  • 优异的热稳定性
  • 超高纯度

适合材料：
Isolast® PureFab™ JPF10
Isolast® PureFab™ JPF21
Isolast® PureFab™ JPF40
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Dry Etch Process 乾蝕刻製程

此过程需要密封件提供：

  • 优异的耐电浆性
  • 出色的抗电浆裂纹性能
  • 低微粒产生
  • 优异的纯度
适合材料：
Isolast® PureFab™ JPF10
Isolast® PureFab™ JPF20
Isolast® PureFab™ JPF30
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Isolast® K-Fab™
  • 防呆安装设计
    在安装过程中，拼图式的形状将密封件固定在金属壳上
  • 耐高温能力
    多種材料可選擇，可實現高達 +327 °C/+621 °F 的高溫應用
  • 优越的密封性能
    压缩时，拼图式形状的设计充当保持机构，并在压缩时增加轴向密封力
  • 使用寿命长
    双向密封形状提高了密封性能，尤其是在多变的压力/真空情况下
  • 没有溢出或挤出问题
    與 O-Ring 相比，K-Fab™ 的橡膠體積更少，可防止因熱膨脹而溢出和擠出的問題
适合材料：
Isolast® K-Fab™ Flange Seal 了解有關 lsolast® PureFab™ 的更多資訊

Slit Valve Doors
  • 长期密封完整性
  • 优异的耐电浆性
  • 一流的除气性能
适合材料：
Isolast® PureFab™ JPF10
Isolast® PureFab™ JPF20
Isolast® PureFab™ JPF30
Isolast® PureFab™ JPF40
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Wafer Support and Transfer Pads
  • 低黏滞
  • 一流的纯度
  • 提供各种形状和设计
适合材料：
Isolast® PureFab™ JPF10
Isolast® PureFab™ JPF22
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Process Precursor Canister Seals
  • 低渗透性
  • 高纯度
與所有氣體相容，包括胺基化合物，例如：TDMAT 適用材料：
Isolast® PureFab™ JPF10
Isolast® PureFab™ JPF40
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Process Gas Delivery Valve Seals
  • 与所有製程气体相容
  • 高纯度
  • 长期可靠性
與所有氣體相容，包括胺基化合物，例如：TDMAT 適用材料：
Isolast® PureFab™ JPF10
Isolast® PureFab™ JPF20
Isolast® PureFab™ JPF22
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Main Chamber Body Seals
  • 超低除气性能
  • 低渗透性
  • 全系列尺寸，包括 Fleximold™ 技術的超大直徑密封件
與所有氣體相容，包括胺基化合物，例如：TDMAT 適用材料：
Isolast® PureFab™ JPF10
Isolast® PureFab™ JPF22
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